【CSEAC 2022】天马电源参展第十届（2022）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会

第十届（2022）中国半导体设备年会

暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC)

时间：2022年10月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

江阴市天马电源制造有限公司

展位号：B3-112

江阴市天马电源制造有限公司是从事直流电源研发、生产的高新技术企业，建厂已逾40载。

公司位于江苏省江阴市，占地2.5万余平方米，拥有PCB、钣金、变压器、线路板、总装等专业化生产车间。公司现有员工400余人, 其中专业技术人员120名，高级专家5名。公司2021年营收超3亿元，2022年营收预计超3.4亿元。公司为江苏省高新技术企业，设有江苏省企业研究工作站、无锡市电源工程技术研究中心、同步开关电源工程技术研究中心；并与西安交通大学、上海交通大学、中科院半导体研究所等多家院校广泛合作。

公司不断研究、吸收国外先进技术，对标国外高端电源产品，目前正致力于实现集成电路行业PVD\PECVD工艺应用电源的国产化替代工程。公司现有直流溅射、中频溅射、脉冲偏压等系列电源产品。

网址：www.tmpower.cn

产品展示

Product presentation

直流溅射电源(DFO系列)

【产品概述】

产品具备广幅调整功能，具备精确的电流功率输出。具有高级的打火检测电路，极低的打火释放能量。

产品可广泛应用于集成电路、光伏等行业PVD工艺。

【产品特点】

〇工作模式：恒流/恒压/恒功率。

〇控制精度：±0.5%。

〇灭弧时间＜1µs,每1KW输出打火能量<0.3mJ,可以明显降低打火损伤。

〇电源具备高性能、高可靠性和高通用性。

〇通讯模式：模拟/RS232/RS485/DEVICENET

〇输出波形：直流

〇输入电压：480V AC

〇输出功率：20KW DC

〇最高电流：50A DC

〇最高电压：1000A DC，瞬间1500A DC

〇冷却方式：风冷

〇外形尺寸：1：1 (PINNACLE20KW)

〇对标产品：AE Pinnacle DC系列

中频磁控电源(MFO系列)

【产品概述】

MFO系列中频电源具备广幅调频功能。具备精确的电流功率输出。

具有高级的打火检测电路，极低的打火释放能量。

该系列电源可广泛应用于光学镀膜等行业。

供电电压为3相380V±10%；供电频率为50/60HZ

【产品特点】

〇MFO系列电源具备高性能、高可靠性和高通用性,可有效保证镀膜工艺的实现和可重复性。

〇工作模式：恒流/恒压/恒功率。

〇控制精度：±0.5%。

〇灭弧时间＜1µs,每1KW输出打火能量<0.3mJ,可以明显降低打火损伤。

〇通讯模式：

模拟量/RS232/RS485/PROFIBUS/DEVICENET

〇输出波形：正直流/负直流/正脉冲/负脉冲/双极脉冲

〇输入电压：380V AC

〇输出功率：20KW DC

〇最高电流：50A DC

〇最高电压：1000A DC

〇冷却方式：风冷/水冷

〇外形尺寸：178(H)*482(W)*700(L)

〇对标产品：Huttingers Truplasma Bipolar 4000系列

偏压电源(VBP系列)

【产品概述】

VBP系列高频脉冲偏压电源具有高速的灭弧检测电路，输出频率和脉冲

宽度可独立调节。主要适用于工具镀膜、装饰镀膜等多种应用。

【产品特点】

〇工作模式：恒流/恒压/恒功率。

〇控制精度：±0.5%。

〇输出模式：直流和双极脉冲(1-100KHZ)

〇灭弧时间＜1µs,每1KW输出打火能量<0.3mJ,可以明显降低打火损伤。

〇VBP系列电源具备高性能、高可靠性和高通用性,可有效保证镀膜工艺的实现和可重复性。

〇交流纹波≤1%。

〇通讯模式：RS485

〇输入电压：380V AC

〇输出功率：24KW DC

〇最高电流：80A DC

〇最高电压：1500A DC

〇冷却方式：风冷/水冷

〇外形尺寸：261(H)*483(W)*633(L)

〇对标产品：AE Pinnacle Plus系列

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