【CSEAC 2022】奇乐石参展第十届（2022）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会

第十届（2022）中国半导体设备年会

暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC)

时间：2022年10月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

奇石乐精密机械设备（上海）有限公司

展位号：B3-118

奇石乐（Kistler Instrumente AG）是压力、力、扭矩及加速度动态测量技术的全球领先企业，也是工业和科研领域客户的开发合作伙伴。凭借其丰富经验，奇石乐为客户创造了重大价值，协助优化产品和工艺，确保维持长久的竞争优势。

作为一家由所有者经营的瑞士企业，奇石乐独有的传感器技术在汽车制造、工业自动化、半导体生产、运动生物力学及若干新兴行业中发挥了关键作用。凭借广博的应用知识和对质量的坚定承诺，奇石乐在当前大趋势的进一步发展中做出了重要贡献，包括电气驱动技术、自动驾驶、减排、工业4.0等主题。

奇石乐在全球拥有60家分支机构，2000名员工。自1959年创立以来，与客户共同成长，2021年实现销售收入4.11亿瑞士法郎，其中约7%被再次投入技术研发，以期为全体客户提供更好的产品和服务。

在工艺愈加复杂和严苛的半导体制造行业，奇石乐的传感器技术（100KHz的高固有频率、0.02%的高重复性精度），能够精确监测和控制半导体生产研发及量产过程中产生的力，在包括抛光、研磨、CMP、晶圆切割、叠片、引线框架冲压、芯片绑定、引线绑定、倒装芯片、晶圆绑定、热压绑定、晶圆分拣、封装、注塑成型、绑定拉力强度测试等各类工序中，100%在线监测动态力值的微小变化，实现对刀具、工艺过程的可视化，提升产品质量，减少停机时间。

例如，在芯片生产技术全球领先的日本地区，使用动态力测量逐渐成为功率半导体生产制程中确保产品质量和精度的关键因素：

划片：检测刀具的钝化、破损，优化刀具的修锐时机

热压绑定：检测过程中的芯片断裂或异物残留

引线键合：及时发现过载导致的引线断裂或者是压力不足造成的键合不良

网址：www.kistler.com

产品展示

Product presentation

SlimLine高灵敏度压电式微小力超薄传感器-9132CD，实现精密的半导体生产过程监控与优化

奇石乐推出了全新的SlimLine超薄力传感器9132 CD，专为半导体行业/3C领域中安装空间严重受限的微小力、高精度测量场景而设计。归功于奇石乐自己开发和培育的高灵敏度压电晶体，该产品对力的变化反应迅速。更重要的是：9132 CD传感器的灵敏度高达35 pC/N，是传统超薄型传感器的9倍。借助其集成的高度灵活的连接电缆，它可以在具有挑战性的条件下使用：例如，芯片bonding环节。在这些情况下，就算是针对 0.5 N 的极小拉伸和压缩力，9132CD也可以实现在几分钟内进行周期性和准静态的测量。

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