【CSEAC 2022】启尔机电参展第十届（2022）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会

第十届（2022）中国半导体设备年会

暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC)

时间：2022年10月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

浙江启尔机电技术有限公司 

展位号：B3-41

启尔机电成立于2013年, 前身为浙江大学流体动力与机电系统国家重点 实验室的科研团队，是一家投身半导体制造装备事业的国家高新技术企业。公司聚焦半导体超洁净流控系统及零部件研发，团队历经近二十年持续的基础研究和技术攻关，已获得相关发明专利100余项。2019年于杭州青山湖科技城建成2.6万平方米半导体超洁净流控系统及零部件研发中试基地，形成相关产品批量生产能力。

网址：http://www.cheertech.ltd/

产品展示

Product presentation

磁悬浮泵

磁悬浮泵是一种利用磁悬浮技术实现叶轮非接触式驱动旋转的无轴承离心泵。本公司研制的 LP 系列磁悬浮泵产品，其流量与压力脉动小、可靠性高，泵头采用超纯 PFA、PTFE 材质，金属离子与颗粒等污染物析出量极低，适用于半导体制程等场合中超纯水、化学品等液体介质的超洁净泵送。

波纹管泵（风囊泵）

波纹管泵（风囊泵）是一种利用风囊的轴向伸缩运动来实现液体输送的容积式无泄漏泵。本公司研制的 BP 系列波纹管泵（风囊泵），其与 液体接触部分全部由超纯氟材料制成，金属离子与颗粒等污染物析出量极低。外壳采用铝合金材质，表面涂有氟 材料，以增强壳体的强度和耐腐蚀能力，提高整泵的使用寿命。该系列产品适用于半导体制程等场合中超纯水、 化学品等介质的超洁净泵送。

液体超声流量传感器

液体超声流量传感器是一种利用超声测量原理来检测测量管内液体介质流量的非接触式传感器。本公司 研制的 UF 系列超声流量传感器，其与被测介质接触部分全部由超纯 PFA 材料制成，金属离子与颗粒等 污染物析出量极低，适用于半导体制程等场合中超纯水、化学品等液体介质的超洁净流量检测。

液体超声流量控制器

液体流量控制器是一种利用传感器检测液体介质流量并通过电控阀实现介质流量控制的产品。本公司研制的 UFC 系列液体超声流量控制器主要由超声流量传感器和超洁净电控阀组成，其与液体介质接触部分全部由超纯氟材料 制成，金属离子与颗粒等污染物析出量极低，适用于半导体制程等场合中超纯水、化学品、Slurry 研磨液等介质 的超洁净流量控制。

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