【CSEAC 2022】三英精控参展第十届（2022）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会

第十届（2022）中国半导体设备年会

暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC)

时间：2022年10月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

三英精控（天津）仪器设备有限公司

展位号：B3-113

三英精控(天津)仪器设备有限公司是一家专注于超精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为开发科学研究仪器及高端装备制造提供精密运动控制技术的解决方案与系统集成，满足市场对超精密运动控制技术与产品需求的专业制造商。

三英精控(天津)仪器设备有限公司在纳米运动控制技术方面具有国际领先的技术和经验，并具有完全的自主知识产权。公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密测量及精密集成等技术于一体，产品的综合指标已达到国际先进水平。公司产品涵盖大行程高精度运动平台、纳米和亚纳米运动控制平台、纳米位移电容传感器、精密运动控制集成系统等系列产品。

网址：www.symc-tec.com

产品展示

Product presentation

纳米定位平台

纳米运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

高速偏摆镜

高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动，内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，采用有限元分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度，定位精度，分辨率和稳定性可以达到纳弧量级，紧凑型设计，可以更好的集成于光学系统。

纳米位移电容传感器

• 量程范围:20um-1200um

• 分辨率：

• 0.007nm-0.05nm @1Hz(静态)

• 0.22nm-1.58nm @1kHz(动态)

• 线性度:0.06%-0.1% ·温漂:<100nm/℃ ·带宽(Hz):1~10K

在半导体行业中，测量的精度和重复性至关重要。三英精控的纳米位移电容传感器可为半导体领域的定位、位移测量和厚度测量提供一系列解决方案。

典型应用

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