【CSEAC 2022】飞潮参展第十届(2022)中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会
第十届(2022)中国半导体设备年会
暨半导体设备与核心部件展示会(CSEAC)
时间:2022年10月27-29日
地点:无锡太湖国际博览中心
展/商/推/荐
飞潮(上海)新材料股份有限公司
展位号:B3-120
飞潮成立于1999年,是国际知名的过滤分离解决方案提供商,为全球工业客户提供过滤、分离和净化整体解决方案。飞潮参与国家标准和行业标准的撰写,具备独立完备的研发、设计、制造成套过滤系统的能力,拥有国内外200多项专利技术,现已积累10万余过滤案例经验,产品远销五大洲。
在半导体行业中,飞潮可根据客户的工艺需求量身定制完善的解决方案。飞潮对于半导体制程中电子气体、电子化学品和半导体厂务方面都有相关的过滤工艺,同时还有先进灵活的定制化检测分析服务,帮助客户优化工艺流程,实现安全生产。
网址:http://www.feature-tec.com/
产品展示
Product presentation
Gist 超纯气体过滤器
Gist与Gistmini均为飞潮专为电子级气体超纯净化开发设计的超纯气体过滤器,其过滤精度可达3nm,具有高通量、低压损、化学相容性好等优点,Gist与Gistmini的设备结构紧凑,强度高,也适用于各种高温高压气体过滤。
Mighty系列全氟滤芯
飞潮生产的Mighty系列滤芯采用先进的全氟结构,具有极佳的化学兼容性、极低的析出水平,适用于关键湿电子化学品的过滤与净化,如强酸等,它有极高的截留效率,独特的折叠技术,保证滤芯的高通量、低阻力,延长使用寿命。
Taurus系列半氟滤芯
Taurus系列滤芯采用PTFE滤膜,化学兼容性优秀,适用于稀释的酸、碱、溶剂、去离子水等的过滤与净化。独特的折叠技术,在保证了高截留效率的同时,也确保了滤芯的高通量、低阻力,延长产品的使用寿命。Taurus系列滤芯可选亲水膜和疏水膜,无需预润湿,节省启动时间,可以降低运营成本。
无隔板过滤器
无隔板过滤器广泛应用于洁净工程以及设备的末端送风装置中,如层流罩、送风口、FFU等,其密封性好,配合FFU漏气量控制十分有效。它的过滤的面积大,阻力低,效率高,使用寿命长,运行成本低,拥有较大的容尘量。
飞潮测控中心验证能力
飞潮八大实验室于2020年成立,在2021年相继实现硬件升级与体系升级。在半导体行业,飞潮测控中心可满足滤芯过滤精度与效率验证、污染物分析、滤芯使用性能分析和金属离子析出测试、不挥发残余物分析等检测,使飞潮真正做到集研发、生产、销售、验证于一体。
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