【CSEAC 2022】北方华创参展第十届（2022）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会

第十届（2022）中国半导体设备年会

暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC)

时间：2022年8月20-22日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

北京北方华创微电子装备有限公司

展位号：B3-30

北京北方华创微电子装备有限公司（ 002371.SZ 简称：北方华创）成立于2001年。经过二十年的发展，北方华创已成为国内领先的半导体装备制造与服务商。

北方华创的主要产品包括刻蚀机、PVD、ALD、CVD、氧化/扩散炉、清洗机、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等领域，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司拥有五大产业制造基地，分别位于北京经济技术开发区、北京顺义天竺出口加工区、北京平谷马坊工业园区、北京台马工业园和美国宾夕法尼亚，服务体系覆盖欧、美、亚主要国家和地区。

网址：www.naura.com

产品展示

Product presentation

在集成电路领域，针对Logic、DRAM、3D NAND、3D IC等不同的芯片技术，NAURA可提供等离子刻蚀机、PVD、CVD、ALD、炉管和清洗等设备，并均已进入主流芯片工厂。自成立以来，北方华创多款产品逐步被领军集成电路芯片制造企业指定为Baseline机台，广泛地获得了客户和市场的认可。

在功率半导体领域，NAURA自主研发的刻蚀机、PVD、立式炉设备、清洗机、单/多片式硅外延设备、以及卧式氧化/扩散炉已获得多家功率器件客户的认可和批量采购，为多条功率器件生产线提供解决方案。

在先进封装领域，针对Flip chip Bumping、Fan-Out、WLCSP、2.5D/3D TSV等技术，NAURA为客户量身打造的刻蚀设备、沉积设备、炉管设备等已经实现了在主流先进封装企业的批量生产，并不断获得客户的重复采购订单。

在半导体照明领域，NAURA的ICP刻蚀机、PECVD、Sputter等均为当年市场占有率超卓的行业标杆产品，可应用于新一代Mini-LED和Micro-LED制程。NAURA在LED领域持续研发，凭借优越的产品性能以及创新的技术理念，致力于成为客户信赖的设备解决方案提供商。

在光伏领域，全球 60% 以上光伏电池经由NAURA设备产出，支持客户量产工艺的迅速迭代和升级 ( PERC / TOPCon / PBC / TBC / HJT )。

在化合物半导体领域，NAURA的SiC长晶炉、SiC外延、刻蚀、PVD、CVD等设备成为国内行业领导者，与头部客户全面合作，推动化合物领域爆发式发展。应用于GaN的ETCH、PVD、清洗机、PECVD、炉管等关键工艺设备在国内主流产线大规模应用。

在MEMS及新兴领域，NAURA的ETCH、PVD、PECVD设备全面服务于顶尖科研机构，涉及集成电路先进制程、MEMS、先进封装、光电微纳制造、光通信、化合物射频器件、化合物功率器件等多个领域。NAURA与国内多家高校、科研院所建立校企合作伙伴关系，整合校企各自优势资源，联合培养人才，推动前沿科学的工程转化。

在平板显示领域，作为国内TFT-LCD生产线的骨干设备供应商，多种产品在客户G5至G10.5各个世代TFT-LCD生产线及OLED生产线上批量应用；CELL段的ODF工艺紫外固化炉UV Cure以及Cutting工艺的Grind Cleaner等设备均在各世代生产线占据重要份额。

北方华创致力于成为半导体基础产品领域值得信赖的引领者，始终以客户需求为导向，持续创新，依托精良的品质及卓越的服务，与全球伙伴深度合作，打造高端电子工艺装备技术、产品、服务一体化的专业解决方案平台，推动产业进步，创造无限可能！

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