【CSEAC 2022】中图仪器参展第十届中国半导体设备年会

第十届中国半导体设备年会（CSEAC)

时间：2022年7月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

深圳市中图仪器股份有限公司

展位号：B3-98

     深圳市中图仪器股份有限公司是国家高新技术企业，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。

    中图仪器坚持以技术创新为发展基础，现有员工400余人，集光、机、电、信息技术于一体的专业技术团队、历经了十多年的技术积累和发展实践、专业覆盖面广，专项技术能力强，具有多项技术专利和软件知识产权。在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了独特的设计、制造优势，具备了从纳米到百米为用户提供专业的精密测量解决方案的能力。

   中图仪器经过十多年在几何量测量领域的潜心研究，设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多高端测量、计量设备。从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量，为用户提供专业的精密测量解决方案。

网址：https://www.chotest.com/

产品展示

Product presentation

SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪

光学3D表面轮廓仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

VT6000共聚焦显微镜

VT6000共聚焦显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

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