【CSEAC 2022】中科九微参展第十届中国半导体设备年会

第十届中国半导体设备年会（CSEAC)

时间：2022年7月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

中科九微科技有限公司 

展位号：B3-69

       中科九微科技有限公司是一家专注于真空领域的高科技公司，产品包括真空泵、真空阀门、真空腔体、真空测量及真空部件等，广泛应用于半导体、光伏太阳能、生物医药、科研院所等领域，中科九微不遗余力地开发创新的技术、卓越的解决方案和产品，持续地为客户创造价值。同时，中科九微大力发展创新生态，携手政府、企业、大专院校和科研机构，实现协同创新，多方共赢，公司被认定为国家高新技术企业、工程研究中心，设有创新研究院等，完成了十多个国家级产品的研究任务，并承担了国家发改委、科技部、工信部等多个重大专项。中科九微分别建设了450亩半导体真空生产基地和108亩工业真空生产基地，打造了工业4.0智能数字化车间，拥有先进的加工设备和强大的制造能力，是中国真空领域极具代表性的先进制造中心。立足中国，放眼世界，中科九微以客户为中心，让中国的高端制造走向世界为使命，致力于成为全球知名的真空科技企业。

网址：www.mm-tech.com.cn

产品展示

Product presentation

脂润滑一体分子泵  JFB-63/81

该系列产品主要特征有：

1.一体控制：控制器一体化设计，便于系统集成，可以一键启停；

2.精密轴承：脂润滑精密陶瓷球轴承，可任意角度安装； 

3.产品可靠：涡轮转子一体成型，无位置传感器高速电机驱动；

4.功能多样：配件齐全，可提供客户定制方案；

5.提供转速可调功能，满足客户一款泵多种抽速的需求；

本系列产品主要适用PVD、CVD、液晶平板等工业镀膜；质谱分析、高能物理、真空检漏、医药与生物工程等科学研究等多个领域。

超高真空插板阀

该系列产品主要特征有：

1.轴封有波纹管密封和氟橡胶密封两种可选择，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计

2.阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小

3.阀体采用加强筋结构，体积小、重量轻，外形美观

4.采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；阀板整体式结构，支撑力均匀

5.口径范围覆盖全

低粒子传输阀

该系列产品主要特征有：

极低的PARTICLE产生： 

1.阀门启闭过程中阀板全程无摩擦，极大的减少了PARTICLE的产生 

2.全新的传动结构有效地降低了震动冲击，同时也抑制了PARTICLE的产生。

阀门状态监控：

提供阀门开关状态的数据接口可共享其状态信息，提高信息化、数字化及智能化水平。

多种解决方案：

1.阀体及阀板材质可选 

2.密封件材质可选 

3.超高真空版本 

4.可追加表面处理

会议支持单位

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入场听会，免费观展

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团体报名，尽享优惠

团体人数≥5人可组团报名，每人优惠金额200元，请联系组委会会议注册负责人微信13585807781完成团队报名。

听会观展，多重福利

1、自助午餐和晚宴

2、会议手册一份

3、精美礼品一份

（以上福利请到现场签到处领取）

特别福利：团队报名30人以上，可以获得无锡市内免费专车接送。

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