【CSEAC 2022】霍廷格电子参展第十届中国半导体设备年会

第十届中国半导体设备年会（CSEAC)

时间：2022年7月27-29日

地点：无锡太湖国际博览中心

展/商/推/荐

德国霍廷格电子有限公司

展位号：B3-85

       德国霍廷格电子有限公司成立于1922年，总部设于德国弗莱堡，是世界领先的等离子体电源制造商，产品主要用于：半导体，显示器和太阳能领域，及光学镀膜，装饰镀膜，工业镀膜，大面积玻璃镀膜等行业的等离子体应用。

        我们致力于开发、制造用于各种沉积和干腐蚀工艺的等离子电源。通快霍廷格在亚洲、欧洲和美洲分别设有销售和服务子公司和分支机构。在中国设有亚太区应用中心、维修中心及匹配器生产中心。为您提供所有生产过程的优质服务。

网址：http://www.trumpf-huettinger.com/ 

http:// www.cn.trumpf.com

产品展示

Product presentation

TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) 系列

（1001 Air 1kw 系列）  

（G2 2~6kw 系列） 

 （10~90kw 系列）

全新一代的射频电源TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13.56M) 系列，对工艺过程中的所有参数进行实时监测，即使在要求严苛的等离子体工艺中，仍能确保可靠供电。其稳定的输出功率和高精度控制确保高效高生产效率的同时，实现最佳工艺效果。

TruPlasma VHF 系列

TruPlasma VHF 3000 系列电源基于创新的平台概念, 频率覆盖27M；40M；60M。功率范围1~10kw。可满足极为苛刻的生产要求。VHF 电源的纯水冷模块化结构与极高的功率密度设计可以确保大功率输出下的稳定性。

TruPlasma LF 系列

TruPlasma LF 1000 系列电源基于创新的平台概念, 频率范围有350k，400k，2M，功率范围1~10kw，适用于各类半导体，光伏，ALD，刻蚀等离子应用。

TruPlasma Match 1000（G2/13） 系列

TruPlasma Match 系列是对通快霍廷格RF 电源的完美补充，其智能匹配算法和数字化监控平台为工艺监控提供了全方位的解决方案，其所有的部件能够以最佳的方式协调工作。

会议支持单位

Conference Support Unit

参会报名通道

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入场听会，免费观展

长按扫描上方二维码提交报名内容，选择“论坛”报名（展区免费），实名填写参会人员信息、缴费，凭生成的二维码和个人纸质名片到现场办理证件入场。

团体报名，尽享优惠

团体人数≥5人可组团报名，每人优惠金额200元，请联系组委会会议注册负责人微信13585807781完成团队报名。

听会观展，多重福利

1、自助午餐和晚宴

2、会议手册一份

3、精美礼品一份

（以上福利请到现场签到处领取）

特别福利：团队报名30人以上，可以获得无锡市内免费专车接送。

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